Objectifs

L'objectif de ce stage est de faire découvrir ou re-découvrir le vide à toutes les personnes qui travaillent dans une entreprise ou un laboratoire utilisant cette technologie. Il s'adresse à toute personne travaillant dans une entreprise ou un laboratoire utilisant les techniques du vide. Il est destiné à ceux qui travaillent déjà sur une machine ou mieux, qui vont débuter dans ce domaine.

Ce cours fera tout d'abord appréhender l'extraordinaire "grouillement" des molécules qui constituent le "vide". Cette notion permet de comprendre la qualité du vide qu'il faut atteindre pour une application donnée. Viendra ensuite une description succincte des moyens à mettre en œuvre pour le niveau de vide souhaité. Les différents types de pompes et d'appareils de mesures seront décrits, tant dans leurs principes que dans leur fonctionnement, afin de mieux faire comprendre aux utilisateurs les choix qui ont été faits ainsi que les précautions que nécessite l'utilisation de tels matériels.

La qualité des produits élaborés ou traités sous vide devenant une préoccupation majeure, le cours insistera sur la "propreté", non seulement des enceintes à vide mais aussi des objets qui sont introduits et des procédures de travail. Sous vide, la notion de propreté est différente de ce que l'on entend habituellement au niveau macroscopique et nécessite que l'on descende au niveau des molécules et des atomes.

La compréhension de ces phénomènes est seule susceptible de motiver à tous les niveaux, les personnels qui ont en charge la conception et la mise en oeuvre au quotidien des machines et procédés sous vide. Il s'agit de comprendre et donc de respecter les contraintes de propreté nécessitées par leur travail.

Ce cours pourra enfin aider ceux qui ont besoin de maîtriser le vocabulaire relatif aux techniques du vide ainsi que ceux qui doivent émettre et faire appliquer des recommandations concernant la mise en oeuvre des procédés sous vide.

Le cours se conclura par une présentation de techniques mettant en oeuvre le vide, notamment les dépôt de couches minces. Les différentes méthodes de déposition seront exposées tant dans leurs principes que dans leur mise en oeuvre.

Chapitres abordés :

• les atomes et les molécules
• histoire et mesure du vide
• les pompes à vide et leur mise en oeuvre
• les fuites et la perméation
• la propreté des surfaces
• le dégazage : évaporation et désorption
• les machines sous vide