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PVD - Magnétron - Evaporation - MBE

Societe Francaise du VIDE

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  • Durée : 18 Heures
  • Type : En centre
  • Diplôme : N.C.
  • Prix : 950.00 €

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Objectifs

Ce stage de deux jours et demi s'adresse aux techniciens et ingénieurs du milieu industriel et académique qui ont à mettre en œuvre des procédés de dépôt sous vide.

Cette formation donne les bases indispensables à une bonne compréhension des différents processus conduisant à la formation de films minces et vise à donner l'essentiel des connaissances nécessaires à la mise en œuvre des différents procédés de dépôts physique.

Chapitres :

  • Les processus physiques, thermiques, sputtering, différents types de dépôts (corps simples et dépôts réactifs), scénario de croissance : de l'adsorption à la formation du film
  • Evaporation thermique, bombardement électronique
  • Procédés assistés par plasma
  • PVD (incluant PVD simple, réactive, magnétron)
  • Procédés assistés faisceaux d'ions
  • IBAD, Ion Plating
  • PLD
  • Epitaxie par jet moléculaire

Travaux pratiques :

  • Réalisation de dépôt par évaporation
  • PVD magnétron réactive en salle blanche
  • Epitaxie par jet moléculaire

Nombre de participants limité (manip. en salle blanche)

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